ORC  紫外线光量计UV-M10-P/ UV-M10-S

日本ORC UV紫外线光量计UV-M10-P/ UV-M10-S它是一种用于控制使用紫外线的紫外线照射装置的光量的测量仪器。由于配备了控制信号接点输出，因此可用于通过紫外线照射装置等控制曝光量。

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 可输出紫外线曝光控制信号的紫外线光度计。

具有10路光强设置、光强测量、照度测量、定时器设置、时间测量等多种功能。

可以在测量光量的同时在照度显示和时间显示之间切换。

您可以在内置 UV-M10-P 和桌面 UV-M10-S 之间进行选择。

根据您正在使用（待使用）的光源和抗蚀剂的灵敏度选择UV-25、35、42的接收器。但是，UV-SN25、UV-SN35、UV-SN42用于电子电路（印刷）板的制造过程，UV-SD25、UV用于半导体和液晶板的制造过程。-推荐选择 SD35 或 UV-SD42。

日本ORC UV紫外线光量计UV-M10-P/ UV-M10-S的规格参数：

    接收器（可更换）：紫外线-SD35（紫外线-SN35）

    测量波长范围：310-385nm

    测量光强范围：0.01-999.9mJ/cm 2

    测量照度范围：

    开关控制：1. -10.00mW/cm 2范围2：0.1-50.0mW/cm 2

    输入/输出信号

（D-sub 连接器）    输入 (1) 远程启动 (2) 远程停止

继电器触点输出 (1) NO（启动时开启） (2) NC (3) 警报

    拟合精度    在我们的紫外线标准的 ± 2% 以内

    重复精度    ±2%以内

◆ 关于SD型和SN型

    　SN型已被长期使用我们曝光设备和辐照设备的客户广泛使用，保证了工艺管理的连续性。

　SD 型用于已经使用其他公司制造的照度计的客户在半导体和液晶基板的制造过程（本公司制造的曝光设备）现场重视确保与那些测量仪器的数据兼容性。 SD型用于投影式曝光设备和液晶基板周边曝光设备），推荐给使用全新照度计的客户。

◆ 关于SD型和SN型指示值

    　SN型在与SD型的指示值相同的测量条件下测量我们测量组中用作校准辐射源的高压UV灯的365nm的照度线，以确保旧过程数据的兼容性　。进行调整，使其显示比显示时显示的照度值高 39%：mW/cm 2显示）。

◆ 关于与其他公司生产的照度计的数据兼容性

    　与可见光照度计（以 LUX 为单位测量家庭、办公室、商店、博物馆等的亮度的照度计）不同，适用于所有紫外线照度计的标准尚未建立（似乎制作 JIS 的工作只用于非常有限的用途）。

　每个公司的相对光谱灵敏度从测量的峰值波长（相对光谱灵敏度特性用 1 表示的波长）开始，即使它是为了测量主要由发射线组成的光源的照度而制作的365nm 短波长侧（300nm～310nm左右）和长波长侧（380nm～400nm左右）的上升、下降波长及其前后的曲线略有不同。

　此外，虽然在设计方面正在努力使被称为COS θ特性的光接收器的光接收角特性更接近理想曲线，但现实是它尚未实现。